Lasertec Corporation ออกแบบ ผลิต และจำหน่ายอุปกรณ์ตรวจสอบและวัดผลในญี่ปุ่น เกาหลีใต้ ไต้หวัน ภูมิภาคอื่นๆ ในเอเชีย และสหรัฐอเมริกา ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้องกับเซมิคอนดักเตอร์ ได้แก่ ระบบตรวจสอบมาสก์แบบแพทเทิร์นด้วย actinic EUV ระบบตรวจสอบและทบทวน EUV mask blanks ระบบตรวจสอบมาสก์ ระบบตรวจสอบ EUV pellicle ระบบตรวจสอบและทำความสะอาดด้านหลังของ EUV mask และระบบตรวจสอบขอบมาสก์ รวมถึงระบบวัด phase-shift และ transmittance ระบบตรวจสอบและทบทวนเวเฟอร์ SiC และ GaN ระบบตรวจสอบและวัดขอบเวเฟอร์ และระบบวัดเวเฟอร์แบบอัตโนมัติเต็มรูปแบบ นอกจากนี้ยังมีระบบตรวจสอบ FPD photomask ระบบตรวจสอบและติดตั้ง pellicle สำหรับ CLIOS ระบบตรวจสอบ FPD mask blanks และกล้องจุลทรรศน์ เช่น กล้องจุลทรรศน์เลเซอร์ และกล้องจุลทรรศน์เลเซอร์สแกนแบบคอนโฟคอล บริษัทเดิมชื่อ NJS Corporation และเปลี่ยนชื่อเป็น Lasertec Corporation ในปี 1986 ก่อตั้งขึ้นในปี 1960 และมีสำนักงานใหญ่ที่เมืองโยโกฮามา ประเทศญี่ปุ่น