Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd.TSMC is teaming with ASML on a 12-inch High-NA EUV photomask initiative and plans High-NA high-volume manufacturing for advanced nodes from 2030.
台湾積体電路製造(TSMC)はASMLホールディングと提携し、半導体業界の大型極端紫外線フォトマスクへの移行を推進する。両社は9月7日、カリフォルニア州モントレーで開催される年次SPIE BACUS会議を前に業界横断的な取り組みを立ち上げ、2031年までに12インチマスクのパイロットラインを構築し、2033年までに12インチHigh NAリソグラフィシステムが先端ノード生産に投入される道を開くことを目指す。High Numerical Aperture EUVは当初、現行の6インチマスクを用いた生産に採用されるが、より大型の12インチマスクへの移行により、半導体業界全体でファブの生産性が向上し、チップ製造コストが低下し、スティッチングの制約が解消されると期待されている。TSMCは2030年から先端ノード向けの大量生産にASMLのHigh NA技術を使用する計画で、ノードが進歩するにつれて、主にAIアプリケーションに必要なトランジスタアーキテクチャの複雑化により、より多くの層がHigh NA EUVを必要とすると予想している。別途、インテルファウンドリとASMLは、High NAが現在大量生産で使用されており、初期のツール認証とテスト、研究開発、およびコード名Panther Lakeの一部のインテルCore Ultraシリーズ3プロセッサの選択された層での量産を通じて、これまでに100万枚を超えるウェハが処理されたと述べた。
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd.TSMC is teaming with ASML on a 12-inch High-NA EUV photomask initiative and plans High-NA high-volume manufacturing for advanced nodes from 2030.
ASML Holding N.V.ASML is the partner advancing larger-format High-NA EUV photomasks and its High-NA tools are entering high-volume manufacturing at Intel and planned at TSMC.
Intel CorporationIntel Foundry and ASML said High NA EUV is now in high-volume manufacturing, with over one million wafers processed and use on select layers of Panther Lake Core Ultra Series 3 processors.