Tokai Carbon Korea Co. Ltd

Tokai Carbon Korea Co., Ltd.は、韓国において半導体、LED、太陽光産業向けの部品およびコンポーネントを製造・販売しています。同社は、ヒーター、るつぼ、リング、リフレクター、ウェハーホルダーなどに使用される高純度黒鉛部品や、半導体製造装置用のプレートなどを提供しています。また、LED MOCVDおよびシリコンEpiリアクター用のウェハーサセプター、ALD半導体およびEpiサセプター、さらにSiCリング、ウェハー、シャワーヘッドに使用され、プラズマエッチングチャンバー部品の寿命延長と歩留まり向上に寄与するCVD SiCコーティング部品も供給しています。同社は1996年に設立され、韓国の安城市に本社を置いています。