一台数十億円もする ASML のリソグラフィ装置は、チップに回路を焼き付ける主役としてよく称えられます。でも実際に「光を受けて」回路の模様になるのは フォトレジスト（photoresist）——ウエハーに塗られる、ごく薄い感光性の化学薬液です。これに、研磨液（CMP slurry）、エッチング液、超高純度の洗浄液といった兄弟分が加わります。市場は小さいのに 日本がほぼ独占——そして最先端チップ向けのEUVレジストは、業界全体でいちばん細いボトルネックの一つ。これは、チップがどこまで微細にできるかを決める「化学」の物語です。